Плазменные технологии
Аннотация курса Физические основы плазменных технологий (ПТ): эмиттеры и ионизаторы, газоразрядные системы (разряды в магнитном поле, ВЧ и СВЧ разряды, дуги, корона), взаимодействие плазма-поверхность, диагностика поверхности, формирование пучков частиц. Оборудование ПТ: плазмотроны, плазменные пушки и ускорители, ионные источники. Вакуумно-плазменные технологии: нанесение и обработка пленок и покрытий, модификация поверхности, создание микроструктур. Высокотемпературные ПТ: электрометаллургия, плазмохимические реакторы, озонаторы, очистка дымов, сварка, резка, нанесение покрытий.
Нагрузка лекции 3 ч/нед, экзамен
Лектор Чуркин Игорь Николаевич
Примечания читается раз в два года
Семестр 5-6 курсы, весенний семестр

Программы и задания  курса

Формат MSWORD Программа курса